ÀûÀ´¹ú¼Êw66_ÀûÀ´w66×îÀÏÆ·ÅƹÙÍø

Ê×Ò³ > ÐÂÎÅÖÐÐÄ > Ã½ÌåÊÓ½Ç
¡¾¿ÆѧÍø¡¿Ê¯Ä«Ï©ÐÞ¸´¸æ±ð¡°´óË®Âþ¹à¡±¿ªÆô¡°¾«×¼µÎ¹à¡±
×÷Õߣº£¬ÈÕÆÚ£º2022-04-24

¡¡¡¡¼ÇÕß ÕÅéª

¡¡¡¡

ʯīϩ±¡Ä¤È±ÏݵĿìËÙÐÞ¸´¹ý³ÌʾÒâͼ¡££¨ÕÔÎĽÜÌṩ£©

¡¡¡¡½üÆÚ£¬Öйú¿ÆѧԺÄþ²¨²ÄÁϼ¼ÊõÓ빤³ÌÑо¿Ëùº£ÑóʵÑéÊÒ¿Á¿Ì»·¾³²ÄÁÏñîºÏËðÉËÓëÑÓÊÙÍŶÓ£¬Éè¼ÆÁËÒ»ÖÖ¿ìËÙ¡¢¾«×¼ÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©±¡Ä¤È±Ïݵķ½·¨£¬¿ÉÒÔÔÚ15·ÖÖÓÄÚ¸ßЧµØÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©±¡Ä¤É϶à³ß¶ÈºÍ¶àÀàÐÍȱÏÝ£¬ÔÚÌá¸ßʯīϩ±¡Ä¤¸¯Ê´·À»¤ÐÔÄܵÄͬʱ²»Ó°ÏìʯīϩÓÅÒìµÄµ¼µçÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡¸ÃÑо¿¹¤×÷ÒÔ¡¶ÒÔ¾«È·¿ìËÙµÄ×Ô×éװȱÏÝÐÞ¸´·½·¨Ïû³ýʯīϩͿ²ãµÄµçż¸¯Ê´Ð§Ó¦¡·ÎªÌâÕýʽ·¢±íÔÚ²ÄÁÏÁìÓò¸ßˮƽÆÚ¿¯¡¶ÏȽø¹¦ÄܲÄÁÏ¡·£¨Advanced Functional Materials£©¡£

¡¡¡¡¡°ÌìÉú¡±È±ÏÝÆÚ´ý¾«×¼ÐÞ¸´

¡¡¡¡×ÔÎÊÊÀÒÔÀ´£¬Ê¯Ä«Ï©ÒÔÆäÓÅÒìµÄ»¯Ñ§Îȶ¨ÐԺͲ»Í¸¹ýÐÔ£¬±»ÈÏΪÊÇ×î¾ßDZÁ¦ÇÒÒÑÖª×µÄ·À¸¯²ÄÁÏ¡£»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨£¨CVD£©Ôò³£ÓÃÀ´ÖƱ¸´óÃæ»ýºÍ¸ßÆ·ÖʵÄʯīϩ±¡Ä¤£¬µ«CVD·¨Éú³¤Ê¯Ä«Ï©µÄ¹ý³ÌÖУ¬²»¿É±ÜÃâµØ»áÒýÈ벻ͬÀàÐͺͲ»Í¬³ß´çµÄ±¾Õ÷ȱÏÝ£¬ÀýÈç¿Õλ¡¢Õë¿×¡¢ÁÑÎƺÍʯīϩµº¾§½çµÈ¡£

¡¡¡¡È±ÏݵĴæÔÚ£¬µ¼Ö½ðÊô»ùÌåÖ±½Ó±©Â¶ÔÚ¸¯Ê´½éÖÊÖУ¬Òý·¢½ðÊô»ùÌåºÍʯīϩ֮¼äµÄµçż¸¯Ê´£¬¼ÓËÙÁ˽ðÊô»ùÌåµÄ¸¯Ê´Ëٶȡ£ÕâЩȱÏݳýÁ˻ήµÍʯīϩ±¡Ä¤µÄ·À¸¯ÐÔÄÜÍ⣬»¹»á½µµÍµçѧÐÔÄÜ£¬ÓÈÆäÊÇÔÚ¸¯Ê´·¢ÉúÒÔºó¡£

¡¡¡¡ÒÑÓеÄһЩÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©È±Ïݵķ½·¨£¬±ÈÈçͨ¹ýÔ­×Ó²ã³Á»ý£¨ALD£©·½·¨ÔÚʯīϩÉϳÁ»ý¶Û»¯Ñõ»¯Ð¿¡¢Ñõ»¯ÂÁµÈÑõ»¯Îï¡£Ñõ»¯Î︲¸ÇÕû¸öʯīϩ±íÃ棬¿ÉÒÔÌáÉýʯīϩĤ²ãµÄÄ͸¯Ê´ÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡µ«ÊÇ£¬ALD·½·¨ºÄʱÊýСʱ£¬²¢ÇÒ¶ÔȱÏÝȱÉÙ¸ßÑ¡ÔñÐÔ£¬³Á»ýÔÚʯīϩµÄÎÞȱÏÝÇøÓòµÄÑõ»¯ÎïÍùÍù»á´ó·ù½µµÍʯīϩµÄµçÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡´´Ð·½·¨£¬½Òʾ»úÖÆ

¡¡¡¡ÉÏÊöÎÄÕÂͨѶ×÷Õß¡¢Äþ²¨²ÄÁÏËùÑо¿Ô±ÕÔÎĽܸæËß¡¶Öйú¿Æѧ±¨¡·£¬ÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©È±ÏݵÄ×î´óÌôÕ½ÊǸßЧÐԺ;«×¼ÐÔ£¬Í¬Ê±ÓÖ²»Ó°ÏìÆ仯ѧÎȶ¨ÐԺ͵çѧÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡Ñо¿ÍŶӻùÓÚÈÜÒºÕô·¢¹ý³ÌÖÐ1H,1H,2H,2H-È«·úÐÁÁò´¼£¨PFOT£©·Ö×ÓÔÚʯīϩȱÏÝλÖõÄԭλ×Ô×é×°£¬Í¨¹ýÁò´¼ÓëȱÏÝλµã±©Â¶µÄÍ­»ùµ×Ðγɻ¯Ñ§¼ü¿ìËÙÐÞ¸´È±ÏÝ¡£²ÉÓÃÔ­×ÓÁ¦ÏÔ΢¾µºÍÀ­Âü¹âÆ×ÁªÓü¼ÊõÑéÖ¤ÁËPFOTÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©È±Ïݵľ«×¼¶È£¬·¢ÏÖPFOTÑ¡ÔñÐÔÎü¸½ÔÚ²»Í¬ÀàÐͺͳߴçµÄʯīϩȱÏÝÉÏ£¬ÔÚʯīϩÍêÕûÇøÓòûÓгöÏÖPFOT·Ö×Ó¡£

¡¡¡¡ËûÃÇͨ¹ýÏÔ΢ºìÍâ¡¢XPSºÍDFT¼ÆËã½ÒʾÁË»¯Ñ§¼üµÄÐγɻúÖÆ£¬ÊµÑé±íÕ÷ºÍDFT¼ÆËãµÃ³öµÄ½á¹û¾ßÓзdz£ºÃµÄÒ»ÖÂÐÔ¡£PFOT·Ö×ÓÓ뱩¶ÔÚȱÏÝλÖõĻùµ×Í­Ô­×ÓºÍʯīϩȱÏݱßÔµµÄ̼ԭ×ÓÐγɷdz£Ç¿µÄ¹²¼Û¼ü£¬²¢ÇÒ£¬PFOT·Ö×ÓÓëÍêÕûÎÞȱÏݵÄʯīϩ±íÃæÐγÉÈõµÄ·¶µÂ»ª¼ü£¬ºÜÈÝÒ×È¥³ý£¬Õâ¾ÍÊÇPFOT¾«×¼ÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©È±ÏݵÄÔ­Òò¡£

¡¡¡¡´ËÍ⣬Áò´¼Óë»ùµ×Í­Ô­×ÓºÍȱÏݱßԵ̼ԭ×ÓÖ®¼äµÄ»¯Ñ§¼üµ¼ÖÂPFOT·Ö×ÓÀ©É¢µ½È±ÏÝλÖõÄEhrlich-SchwoebelÊÆÀݽµµÍ¡£Õâ¾ÍʹµÃPFOT·Ö×Ó¿ÉÒԺܿ죨½öÔÚ15·ÖÖÓÄÚ£©ÇÒ¾«×¼µÄÐÞ¸´Ê¯Ä«Ï©È±ÏÝ¡£

¡¡¡¡ÆÕÊÊÐÔÐÞ¸´·¨»òÓ°Ï칤ҵÁìÓò

¡¡¡¡ÕÔÎĽܱíʾ£¬¸ÃʯīϩÄÍÊ´±¡Ä¤È±Ïݾ«×¼ÐÞ¸´µÄ·½·¨Õ¹ÏÖ³öÆÕÊÊÐÔ£¬¾ß±¸Èý¸ö¹Ø¼üÒªËØ£º

¡¡¡¡ÐÞ¸´ÎïÖÊÐëÓë½ðÊô»ùµ×ÓÐÀι̵Ļ¯Ñ§¼üºÏ£¬È·±£³¤ÆڵĻ¯Ñ§Îȶ¨ÐÔ£¬Ê¹ÐÞ¸´¾ßÓг¤Ð§ÐÔ£»ÐÞ¸´ÎïÖʲ»»áÓëÎÞȱÏݵÄʯīϩÐγɻ¯Ñ§¼ü£¬È·±£ÐÞ¸´¹ý³Ì²»Ó°ÏìʯīϩµÄµçѧÐÔÄÜ£»ÐÞ¸´ÎïÖʺ¬ÓÐÊèË®ÐÔ¹ÙÄÜÍÅ£¬½µµÍ¸¯Ê´ÐÔ½éÖÊÔÚ±íÃæµÄÈóʪÐÔ£¬´Ó¶øÌáÉýʯīϩĤ²ãµÄ·À¸¯Ê´ÐÔÄÜ¡£

¡¡¡¡Òò´Ë£¬Èç¹û˵ÒÔÍùµÄÐÞ¸´·½Ê½ÊÇ¡°´óË®Âþ¹à¡±Ê½£¬±¾³É¹ûʵÏÖµÄÔòÊÇ¡°¾«×¼µÎ¹à¡±Ê½¶¨µãÐÞ¸´¡£

¡¡¡¡¶Ô´Ë³É¹û£¬¡¶ÏȽø¹¦ÄܲÄÁÏ¡·Éó¸åÈËÈÏΪ£¬×÷Õßͨ¹ýϵͳµÄʵÑé±íÕ÷ºÍµÚÒ»ÐÔÔ­Àí¼ÆË㣬ÐÞ¸´ÁËʯīϩ±¡Ä¤±íÃæ´æÔڵĶà³ß¶È¡¢¶àÀàÐ͵ÄȱÏÝ£¬Ïû³ýÁËʯīϩÓëÍ­»ùµ×Ö®¼äDZÔڵĵ翸¯Ê´£¬²¢Éî¿Ì½ÒʾÁËÐÞ¸´»úÖÆ£¬¸ÃÐÞ¸´·½·¨¿ÉÒÔÓ¦ÓÃÓÚÆäËûÐÞ¸´¹ý³Ì£¬ÕâÏ×÷½«¼¤·¢µç×Ó¹¤Òµ¡¢Í¿²ãºÍ´«¸ÐÆ÷ÁìÓò¶Ôʯīϩ±¡Ä¤ÐÞ¸´µÄ¹ã·ºÑо¿¡£

¡¡¡¡Ïà¹ØÂÛÎÄÐÅÏ¢£ºhttps://doi.org/10.1002/adfm.202110264

 

¡¡¡¡£¨Ô­ÎÄ·¢²¼ÓÚ2022Äê4ÔÂ23ÈÕ¿ÆѧÍø£©

¡¡¡¡¡¾Ô­ÎÄÁ´½Ó¡¿https://news.sciencenet.cn/htmlnews/2022/4/477802.shtm