ÀûÀ´¹ú¼Êw66_ÀûÀ´w66×îÀÏÆ·ÅƹÙÍø

Ê×Ò³ > ÐÂÎÅÖÐÐÄ > Ñ§Êõ½»Á÷
º¼ÖÝ°ÂÇ÷¹âµç¹«Ë¾Ê×ϯִÐйÙÎâÁÁ²©Ê¿À´·ÃÄþ²¨²ÄÁÏ
×÷Õߣº£¬ÈÕÆÚ£º2022-10-03
¡¡¡¡9ÔÂ27ÈÕÏÂÎ磬ӦÖйú¿ÆѧԺÄþ²¨²ÄÁϼ¼ÊõÓ빤³ÌÑо¿Ëù¹è»ùÌ«Ñôµç³Ø¼°¿í½û´ø°ëµ¼ÌåÍŶÓÑûÇ룬º¼ÖÝ°ÂÇ÷¹âµç¹«Ë¾Ê×ϯִÐйÙÎâÁÁ²©Ê¿À´·ÃÄþ²¨²ÄÁÏËù²¢½øÐÐÁËѧÊõ½»Á÷¡£±¾´Î±¨¸æÖ÷ÌâΪ³¬¿í½û´ø°ëµ¼ÌåAlNµ¥¾§Éú³¤¼¼Êõ×îнøÕ¹¼°ÆäÃæÁÙÌôÕ½£¬±¨¸æ»áÓɹùì¿Ñо¿Ô±Ö÷³Ö¡£
¡¡¡¡¶ÔÓÚ¿í½û´ø°ëµ¼ÌåÁìÓòµÄÑо¿£¬¸ßÖÊÁ¿AlNµ¥¾§µÄÉú³¤ÊÇÖÁ¹ØÖØÒªµÄÎÊÌâ¡£ÎâÁÁÊ×ÏȽ«AlN²ÄÁÏÓëÆäËû¿í½û´ø²ÄÁÏ´ÓÈÈѧ¡¢µçѧµÈ·½ÃæµÄÐÔÄܽøÐÐÁË·ÖÎöºÍ±È½Ï£¬Õ¹ÏÖÁËAlNÔÚ¸ßƵºÍ¸ß¹¦ÂÊÓ¦Ó󡾰ϵÄÍ»³öÓÅÊÆ£¬Í¬Ê±»Ø¹ËÁËÉú³¤AlNµ¥¾§µÄ²»Í¬¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹¼°ÆäËùÃæÁÙµÄÀ§ÄѺÍÌôÕ½¡£Ëæºó£¬ÎâÁÁ¶ÔAlNµ¥¾§µÄPVTÉú³¤ÏµÍ³¼°É豸¡¢Ä£Äâ·ÂÕæÈí¼þ¡¢¾§ÌåÉú³¤¼°µ¥¾§³Äµ×ÖƱ¸µÄ¹¤ÒÕ½øÐÐÁËÏêϸµÄ½éÉÜ£¬²¢Õ¹Ê¾ÁË°ÂÇ÷¹âµçÔÚ¸ÃÁìÓòÑо¿µÄ×îнøÕ¹¡£±¨¸æ½áÊøºó£¬Óë»áÈËԱΧÈƵª»¯ÂÁµÈ³¬¿í½û´ø°ëµ¼Ìå²ÄÁϵļ¼Êõ¿ª·¢ºÍÆ÷¼þÓ¦ÓÃÕ¹¿ªÁËÈÈÁÒÌÖÂÛ¡£ÔÚ¹ØÓÚÄ£Äâ·ÂÕæÉú³¤Èí¼þµÄÊÊÓá¢SiC³Äµ×Éú³¤AlNµÄÓÅȱµãÒÔ¼°AlScN²ÄÁÏδÀ´µÄ·¢Õ¹Ç°¾°µÈÎÊÌâ·½Ã棬ÎâÁÁÓëÔÚ×ùʦÉú½øÐÐÁËÉîÈëµÄ½»Á÷ºÍÌÖÂÛ¡£ÎâÁÁÖ¸³ö£¬µ±Ç°AlN³¬¿í½û´ø°ëµ¼Ìå³Äµ×µÄ¹úÄÚÊг¡ËäÈ»ÐèÇóDZÁ¦¾Þ´ó£¬µ«²úÒµÁ´»¹ºÜ²»³ÉÊ죬Õâµ¼Ö³ĵ׳ɱ¾¹ý¸ß¡¢Óë¸ßÖÊÁ¿³Äµ×ÅäÌ×µÄMOCVDÍâÑÓ¹¤ÒÕ²»³ÉÊìµÈÎÊÌâ¡£µ«Ëæ×ÅÊг¡½ÌÓýµÄ²»¶ÏÉîÈ룬´ó³ß´ç¡¢¸ßÖÊÁ¿µÄAlNµ¥¾§³Äµ×±Ø½«ÔÚ°ëµ¼ÌåÆ÷¼þÁìÓò»ñµÃ¹ã·ºÓ¦Óò¢ÌåÏÖÆäÔڸߵ¼ÈÈÂÊ¡¢¸ß͸¹âÐԵȷ½ÃæµÄÌØÊâÓÅÊÆ¡£
¡¡¡¡ÎâÁÁ»¹±íʾ£¬Ò¶¼Ì´ºÑо¿Ô±´øÁìµÄÍŶӵ×ÔÌÉîºñ£¬È˲żüã¬ÔÚ¿í½û´ø°ëµ¼Ì嵪»¯ïØ¡¢Ñõ»¯ïزÄÁÏÓëÆ÷¼þÈ¡µÃÁËÖî¶àÁìÓòÁìÏȳɹû¡£»ùÓÚµª»¯ÂÁµ¥¾§µÄÆ÷¼þÔÚ¹úÄڵĻù´¡»¹±È½Ï±¡Èõ£¬Ë«·½µÄºÏ×÷½«¶Ô´Ù½øÏà¹Ø¼¼ÊõÍ»ÆÆ¡¢È˲ÅÅàÑøµÈ¾ßÓÐÖØÒªÒâÒå¡£½»Á÷Æڼ䣬ÎâÁÁ²©Ê¿»¹²Î¹ÛÁËÕã½­Ê¡ÄÜÔ´¹âµç×Ó¹¤³ÌÖÐÐÄƽ̨µÄÏà¹ØÒÇÆ÷É豸£¬Ë«·½¾ÍÏÂÒ»²½»ùÓÚÕã½­Ê¡ÖصãÑз¢¼Æ»®¡¢Äþ²¨ÊÐÏà¹ØÏîÄ¿ºÏ×÷Ñо¿¾ßÌ巽ʽÉîÈë½»»»ÁËÒâ¼û£¬²¢¾ÍδÀ´Ë«·½µÄÈ˲Ž»Á÷¡¢²úѧÑкÏ×÷µÈÊÂÏî´ï³ÉÁ˹²Ê¶¡£

±¨¸æÏÖ³¡
¡¡¡¡£¨ÐÂÄÜÔ´ ÓÚÕܺ­£©